[发明专利]一种硅晶棒装夹装置

摘要

本发明提供一种硅晶棒装夹装置，包括装夹座；装夹座包括支架和装夹主轴；装夹主轴安装在支架上、并可相对于支架转动；还包括活动组件安装座、第一驱动部件和活动夹紧部件；活动组件安装座设置在装夹主轴的周向外侧，并与装夹主轴固定连接；第一驱动部件与活动组件安装座固定连接；活动夹紧部件与第一驱动部件连接；第一驱动部件驱动活动夹紧部件沿装夹主轴的轴向移动。采用本发明提供的硅晶棒装夹装置引用于切割设备切割硅棒，切割形成的方棒由两个装夹主轴夹紧固定，边缘区域的边皮料则由两个装夹座上对应的活动夹紧部件夹紧固定。切割完成后，活动夹紧部件回缩而释放边皮料，边皮料由对应的回收装置承接而不会损坏。

主权项

1.一种硅晶棒装夹装置，其特征在于：包括装夹座（1）；所述装夹座（1）包括支架（11）和装夹主轴（12）；所述装夹主轴（12）安装在所述支架（11）上、并可相对于所述支架（11）转动；还包括活动组件安装座（14）、第一驱动部件和活动夹紧部件；所述活动组件安装座（14）设置在所述装夹主轴（12）的周向外侧，并与所述装夹主轴（12）固定连接；所述第一驱动部件与所述活动组件安装座（14）固定连接；所述第一驱动部件与所述活动夹紧部件连接；所述第一驱动部件驱动所述活动夹紧部件沿所述装夹主轴（12）的轴向移动；所述装夹座（1）还包括封杆（17）和弹性部件；所述封杆（17）套接在所述装夹主轴（12）的自由端；所述封杆（17）沿所述装夹主轴（12）的轴向相对于所述装夹主轴（12）滑动、但在所述装夹主轴（12）的周向方向相对于所述装夹主轴（12）固定；所述弹性部件设置在所述装夹主轴（12）和所述封杆（17）套接形成的套合腔（19）内；所述弹性部件一端与所述装夹主轴（12）连接，另一端与所述封杆（17）连接；或所述装夹座（1）还包括压紧块（21）和转向头（22）；所述压紧块（21）包括第一通孔和第二通孔；所述第一通孔和所述第二通孔同轴设置，并且，所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径；所述压紧块（21）固定安装在所述装夹主轴（12）的自由端，所述第一通孔位于所述装夹主轴（12）和所述第二通孔之间；所述第一通孔的边缘区域由所述压紧块（21）和所述装夹主轴（12）的端面围成限位环形槽（211）；所述转向头（22）的圆周面侧设有限位凸起（221）；所述限位凸起（221）卡接在所述限位环形槽（211）内，以使所述转向头（22）安装在所述装夹主轴（12）的自由端；所述装夹主轴（12）的自由端端面和所述转向头（22）面向所述装夹主轴（12）的端面二者之一设置有球型凸面（171），另一设有与所述球型凸面（171）半径相同的球型凹面（222）；所述球型凸面（171）贴合所述球型凹面（222），以使所述转向头（22）相对于所述装夹主轴（12）转动；所述转向头（22）的自由端穿过所述第二通孔并凸出于所述压紧块（21）。