[发明专利]泄漏检查装置及泄漏检查方法有效
| 申请号： | 201611050911.0 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN107024323B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 高根将希;佐佐木行雄 | 申请（专利权）人： | 雅马哈精密科技株式会社 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 岳雪兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种泄漏检查装置及泄漏检查方法，能够高精度地进行泄漏检测，并且能够反复使用密封部件。泄漏检查装置具备：检查腔室，其能够收纳工件；按压构件，通过对密封部件进行按压使其与该检查腔室内的所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部；气体供给构件，其向所述工件的所述内部侧或所述外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体；泄漏检测构件，其对从所述一方的密闭空间部泄漏到另一方的密闭空间部的所述示踪气体进行检测；锁止构件，其使封堵所述开口部的状态的所述密封部件的移动停止。 | ||
| 搜索关键词： | 泄漏 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种泄漏检查装置，其特征在于，具备：检查腔室，其能够收纳工件；按压构件，通过对密封部件进行按压使其与该检查腔室内的所述工件的开口部抵接来封堵该开口部，而将所述检查腔室内隔离为所述工件的内部侧和外部侧的彼此分开的密闭空间部；气体供给构件，其向所述工件的所述内部侧或所述外部侧中的一方的密闭空间部供给示踪气体；泄漏检测构件，其对从所述一方的密闭空间部泄漏到另一方的密闭空间部的所述示踪气体进行检测；锁止构件，其使封堵所述开口部的状态的所述密封部件向从所述工件离开的方向的移动停止。
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