[发明专利]主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机在审
| 申请号： | 201611051328.1 | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106773538A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 莫阳 | 申请（专利权）人： | 天津津芯微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 马维丽 |
| 地址： | 300457 天津市滨海新区天津经济技术开发区黄海路1*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种主动对焦机构、光路系统及激光直写光刻机，涉及光刻技术领域，本发明提供的一种主动对焦机构，包括分光模块、自动对焦模块、Z轴模块、XY轴载物平台，分光模块对自动对焦模块发出的光束进行分光，使光束通过Z轴模块投射至XY轴载物平台，XY轴载物平台用于放置曝光基底；XY轴载物平台包括位于水平方向的二维自由度，能够实现XY轴联动；Z轴模块具有与水平方向垂直的一维自由度，能够在Z轴方向上自由移动，实现对焦调节。通过主动对焦机构，可以解决曝光基底的翘曲和不平整的问题，并且可以解决不同厚度的基板的曝光问题。相对传统的对焦方式，本发明具有对焦时间短，精度高的优点，能够有效的提高了光刻机的产能和光刻质量。 | ||
| 搜索关键词： | 主动 对焦 机构 系统 激光 光刻 | ||
【主权项】：
一种主动对焦机构，用于具有自动齐焦功能的激光直写光刻机，其特征在于，包括分光模块、自动对焦模块、Z轴模块、XY轴载物平台，其中，所述分光模块对所述自动对焦模块发出的光束进行分光，使所述光束通过所述Z轴模块投射至所述XY轴载物平台；所述XY轴载物平台用于放置需要进行曝光的曝光基底；所述XY轴载物平台包括位于水平方向的二维自由度，能够实现XY轴联动；所述Z轴模块具有与水平方向垂直的一维自由度，能够在Z轴方向上自由移动，实现对焦调节。
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