[发明专利]微球涂覆类金刚石薄膜滚动震荡装置有效
| 申请号： | 201611052879.X | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106381475B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 杜凯;王涛;刘磊;何小珊;陈果;刘艳松;何智兵 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 杨长青 |
| 地址： | 621037*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微球涂覆类金刚石薄膜滚动震荡装置，属于物理气相沉积涂层制备技术领域。本发明提供一种涂镀均匀，并能降低微球表面粗糙度的微球涂覆类金刚石薄膜滚动震荡装置，采用的技术方案是：微球涂覆类金刚石薄膜滚动震荡装置，包括微球盘、连接头、连接件、底座和电磁继电器，底座上设置支座，连接头通过支撑杆安装于支座上且连接头可绕支撑杆摆动；连接头的一端连接微球盘，微球盘上设置凸向内侧的弧形凸起，连接头的另一端通过连接件与电磁继电器传动连接，连接件、连接头或盘上还设置可使盘摆动后复位的弹性件。通过调整微球盘的倾斜角度、电磁继电器吸合频率优化微球的运动轨迹，使微球分散，以更加均匀地涂覆类金刚石薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 微球涂覆类 金刚石 薄膜 滚动 震荡 装置 | ||
【主权项】：
1.微球涂覆类金刚石薄膜滚动震荡装置，其特征在于：包括微球盘(1)、连接头(3)、连接件、底座(6)和电磁继电器(10)，所述底座(6)上设置支座，连接头(3)上设置安装孔(14)，安装孔(14)内穿设支撑杆(2)，连接头(3)通过支撑杆(2)安装于支座上且连接头(3)可绕支撑杆(2)摆动；所述连接头(3)的一端连接微球盘(1)，微球盘(1)上设置凸向内侧的弧形凸起(13)，连接头(3)的另一端设置至少一个连接孔(15)；所述底座(6)安装所述电磁继电器(10)，电磁继电器(10)和连接头(3)的连接孔(15)之间通过所述连接件传动连接，所述连接件、连接头(3)或盘上还设置可使盘摆动后复位的弹性件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611052879.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种锌合金表面处理方法
- 下一篇：具有柱状晶的锆酸镧薄膜的制备方法及装置
- 同类专利
- 专利分类
