[发明专利]压印装置和物品的制造方法有效
| 申请号： | 201611060042.X | 申请日： | 2016-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN106814536B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 佐藤浩司 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及压印装置和物品的制造方法。用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置包括多个对准观察仪和控制单元。控制单元基于来自多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准。多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息。控制单元基于从多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息控制压射区域与模具的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于该装置包括：多个对准观察仪；和控制单元，控制单元基于来自所述多个对准观察仪的输出控制基板的压射区域与模具的对准，其中，所述多个对准观察仪中的每一个输出指示选自压射区域中的多个第一标记中的第一标记与选自模具上的多个第二标记中的第二标记的相对位置的信息，并且其中，控制单元基于从所述多个对准观察仪输出的多条信息中排除了不正确信息的信息来控制压射区域与模具的对准。
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