[发明专利]一种掩模版版盒

摘要

本发明公开了一种掩模版版盒，包括底板、设于所述底板上方的中框和设于所述中框上方的顶盖，所述底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔，所述开口处设有门板，所述底板上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框之间设有空隙，所述中框的纵截面为H型结构，所述H型结构的横档以及位于内侧的第一竖边的下表面与所述底板之间设有空隙。通过在掩模版支座与中框之间设置空隙，使版盒可同时适应于真空吸附式版叉和物理夹持式版叉取版，同时将中框的纵截面设置为H型结构，且H型结构的横档以及第一竖边的下表面与底板之间设置空隙，使版盒可同时适应于无掩模版保护的版叉和自带掩模版保护的版叉取版，大大提高了兼容性。

主权项

1.一种掩模版版盒，其特征在于，包括底板、设于所述底板上方的中框和设于所述中框上方的顶盖，所述底板、中框和顶盖围成具有一开口的容纳腔，所述开口的一侧设有门板，所述底板上设有若干掩模版支座，所述掩模版支座与所述中框之间设有空隙，所述中框的纵截面为H型结构，所述H型结构的横档以及位于内侧的第一竖边的下表面与所述底板之间设有空隙。