[发明专利]一种用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层

摘要

本发明公开了一种用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，包括柔性衬底、应力缓冲复合层、两片Pd薄膜阻挡层，所述应力缓冲复合层形成在柔性衬底上，所述两片Pd薄膜阻挡层形成在应力缓冲复合层上，所述应力缓冲复合层由Pd超薄层和Cu超薄层重复沉积形成，所述Pd超薄层和Cu超薄层的厚度范围均为1～5nm，所述重复沉积次数范围为20至50次，两片Pd薄膜阻挡层包括第一Pd薄膜和第二Pd薄膜，厚度分别为100～200nm和600～700nm。本发明的背接触层通过Pd超薄层和Cu超薄层的重复沉积形成的应力缓冲复合层，有效地降低铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层与柔性衬底之间应力，从而防止太阳能电池异常卷曲或者薄膜脱落。

主权项

1.一种用于柔性衬底铜铟镓硒薄膜太阳能电池的背接触层，包括柔性衬底(1)、应力缓冲复合层(3)、两片Pd薄膜阻挡层，其特征在于，所述应力缓冲复合层(3)形成在柔性衬底(1)上，所述两片Pd薄膜阻挡层形成在应力缓冲复合层(3)上，所述应力缓冲复合层(3)由Pd超薄层和Cu超薄层重复沉积形成，所述Pd超薄层和Cu超薄层的厚度范围均为1～5nm，所述重复沉积次数范围为20至50次，两片Pd薄膜阻挡层包括第一Pd薄膜(4)和第二Pd薄膜(5)。