[发明专利]一种管状大容积等离子体聚合涂层装置

摘要

本发明一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，属于等离子体技术领域，用于在基材表面制备聚合物涂层。该装置中，真空室为管状，真空室的内壁上安装有电极和导轨，其中电极为柱面形，位于与真空室同轴的柱面上，电极分开为至少两部分，留出的空隙安装导轨，电极与导轨不接触；治具安装在导轨上，与真空室同轴，待处理的基材装在治具内，真空室的顶部沿轴向间隔设置载体气体管路和单体蒸汽管路，真空室的底部沿轴向间隔设置真空排气管路，真空室的两端安装真空室门，供治具送入和取出。本发明的装置的真空室的容积大，等离子体的均匀性良好，处理批量大、效率高、成本低，批处理产品质量均匀性良好。

主权项

一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，其特征在于：真空室(1)为管状，真空室(1)的内壁上安装有电极(2)和导轨(3)，其中电极(2)为柱面形，位于与真空室(1)同轴的柱面上，电极(2)分开为至少两部分，留出的空隙安装导轨(3)，电极(2)与导轨(3)不接触；治具(4)安装在导轨(3)上，与真空室(1)同轴，待处理的基材(5)装在治具(4)内，真空室(1)的顶部沿轴向间隔设置载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)，真空室(1)的底部沿轴向间隔设置真空排气管路(8)，真空室(1)的两端安装真空室门(9)。