[发明专利]一种硅片表面的绒面的制造装置、制造方法及绒面太阳能电池

摘要

本发明公布了一种硅片表面的绒面的制造装置，硅片表面的绒面的制造方法及绒面太阳能电池。本发明通过电火花加工的方式，由多根电极丝从硅片表面滑过，通过瞬间放电，在硅片表面形成均匀的绒面，生产方法简单，可以满足大工业化生产的需要。通过增加电极丝数量或移动速度的方式，可以快速在硅片表面制造出理想的绒面结构，大幅提高了制绒环节的生产效率。本发明的电极丝从硅片表面快速滑动，相较于其它方法可以大幅减少硅片表面可能产生的金属残留，更有利于电池环节的生产和提高电池的效率，且生产过程不产生有害废弃物，生产各环节非常环保。本发明的绒面太阳能电池具有均匀的绒面结构，对太阳光反射效率低。

主权项

一种硅片表面的绒面的制造装置，其特征在于：其包括承载硅片的工件电极和位于所述工件电极上方的工具电极，所述工具电极和工件电极连接脉冲电源的导电板；所述工具电极表面上设置有一根或多根电极丝；所述工具电极和工件电极由驱动装置驱动使得所述工具电极和工件电极的表面相对移动；所述工具电极为导电辊，所述导电辊表面径向设置有电极丝阵列。