[发明专利]一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置及方法

摘要

一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置及方法，属于等离子体技术领域。该装置中，在主真空室壁上安装多个放电腔，在每个放电腔安装一个平面接地栅网和多孔电极板，多孔电极板与栅网平行并保持间隙，并连接小功率高频电源；载体气体管路和单体蒸汽管路分别连接到每个放电腔内，待处理的基材放在主真空室内部，开启真空泵，通入载体气体和单体蒸汽，多孔电极板对放电腔壁放电，单体蒸汽发生聚合，聚合产物先后穿过多孔电极板上的小孔和栅网进入真空室并沉积在基材表面形成聚合物涂层。本发明装置具有等离子体空间分布均匀，批处理产品质量均一性好，等离子体能量、密度较低，化学单体结构不易被过度破坏，形成的聚合物涂层质量好。

主权项

一种多源小功率低温等离子体聚合涂层装置，其特征在于：在主真空室(1)壁上安装多个放电腔(2)，在每个放电腔(2)通往主真空室(1)的开口处安装一个平面接地栅网(3)，在每个放电腔(2)内靠近栅网(3)处安装多孔电极板(4)，多孔电极板(4)与栅网(3)平行并保持间隙，多孔电极板(4)通过绝缘支架(10)固定在放电腔(2)壁上，多孔电极板(4)通过导线(11)连接小功率高频电源(5)，多孔电极板(4)上均匀分布通孔，载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)分别连接到每个放电腔(2)内，载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)另一端分别连接到载体气体源和单体蒸汽源，真空排气管(8)连接到主真空室(1)内，真空排气管另一端连接到真空泵，待处理的基材(9)放在主真空室(1)内部，且位于放电腔(2)外部。