[发明专利]基于光子计数的纳米管几何尺寸测量装置及方法有效
申请号: | 201611076709.5 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN106595491B | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 曹坤武;杨晖 | 申请(专利权)人: | 上海理工大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/08 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 郁旦蓉 |
地址: | 200093 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种基于光子计数的纳米管几何尺寸测量装置及方法,具有这样的特征,测量装置包括:光束聚焦单元,包括光源以及透镜;拉曼散射单元,包括滤光构件以及第一光电转换元件;退偏振动态散射单元,包括分光棱镜、第二光电转换元件以及第三光电转换元件;以及信息分析处理单元,包括用于对电脉冲信号进行计数得到计数值的光子计数卡以及与光子计数卡连接并将计数值处理分析得到纳米管的直径和长度的计算机。本发明的基于光子计数的纳米管几何尺寸测量装置及方法将退偏振动态散射法与拉曼光谱法相结合,不仅能够弥补退偏振动态光散射测量范围不足,又能解决拉曼光谱法不能测量纳米管长度的缺点,而且测量快、成本低、精确度高。 | ||
搜索关键词: | 基于 光子 计数 纳米 几何 尺寸 测量 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于光子计数的纳米管几何尺寸测量装置,用于测量样品池中纳米管的直径和长度,其特征在于,包括:光束聚焦单元,用于将光束聚焦成一点,包括用于发射光束的光源以及用于将所述光源发射出的光束进行聚焦的透镜,聚焦后的所述光束照射在所述纳米管上而产生散射光;拉曼散射单元,包括用于滤除所述散射光中的杂光而得到拉曼散射光的滤光元件以及用于将所述拉曼散射光的光信号转换为电脉冲信号的第一光电转换元件;退偏振动态散射单元,包括用于将所述散射光分解为水平方向和垂直方向的分光棱镜、用于将垂直方向的所述散射光的光信号转换为电脉冲信号的第二光电转换元件以及用于将水平方向的所述散射光的光信号转换为电脉冲信号的第三光电转换元件;以及信息分析处理单元,与所述第一光电转换元件、第二光电转换元件以及第三光电转换元件连接,包括用于对所述电脉冲信号进行计数得到计数值的光子计数卡以及与所述光子计数卡连接并将所述计数值处理分析得到所述纳米管的直径和长度的计算机。
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