[发明专利]搬送装置和校正方法

摘要

本发明提供搬送被处理体的搬送装置，取得考虑了伴随随着时间经过发生的温度变化的搬送臂的热膨胀、收缩和变形这样的形状变化的位置信息，以比现有技术更高的精度将被处理体载置于正确的位置。其包括：转动驱动机构，使第一臂和第二臂被转动驱动，并使保持部在待机位置与搬送位置之间移动；检测第一臂和第二臂的转动角度的转动角检测机构；检测第二臂的位置的位置检测传感器；根据由转动角检测机构检测的所述第一臂和所述第二臂的转动角度计算所述保持部的位置的计算部；和将由计算部计算出的所述保持部的位置信息与由所述位置检测传感器检测到的第二臂的位置信息进行比较，根据两者的差对搬送搬送对象物的搬送位置实施校正的控制部。

主权项

一种搬送装置，其具有：保持搬送对象物的保持部；一个端部与所述保持部连结的直线状的第二臂；和经由关节部与该第二臂的另一个端部连结的直线状的第一臂，该搬送装置的特征在于，还包括：转动驱动机构，使所述第一臂和所述第二臂被转动驱动，并使所述保持部在待机位置与搬送位置之间移动；检测所述第一臂和所述第二臂的转动角度的转动角检测机构；检测所述第二臂的位置的位置检测传感器；计算部，根据由所述转动角检测机构检测的所述第一臂和所述第二臂的转动角度计算所述保持部的位置；和控制部，将由所述计算部计算出的所述保持部的位置信息与由所述位置检测传感器检测到的第二臂的位置信息进行比较，根据两者的差对搬送搬送对象物的搬送位置实施校正。