[发明专利]一种光罩真空吸盘区域污染物的检测系统以及检测方法有效
| 申请号： | 201611104423.3 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108152329B | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 卢建卫;胡习虎 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩真空吸盘区域污染物的检测系统以及检测方法，所述检测系统包括：光罩台，用于承载光罩；真空吸盘，位于所述光罩台内，用于抓紧放置于所述真空吸盘区域上方的光罩；真空吸盘控制模块，用于控制所述真空吸盘的抓紧或释放；信号收集处理模块，用于采集所述真空吸盘控制模块的真空电压，并绘制检测回归曲线；数据分析模块，其接收经所述信号收集处理模块输出的所述检测回归曲线的斜率结果，并分析所述光罩与所述真空吸盘接触的位置是否存在污染物。该系统可以实现实时监控真空吸盘控制模块的真空电压信号，不受其他系统的干扰，能够有效的侦测光罩与所述真空吸盘接触的位置是否存在污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸盘 区域 污染物 检测 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种光罩真空吸盘区域污染物的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：光罩台，用于承载光罩；真空吸盘，位于所述光罩台内，用于抓紧放置于所述真空吸盘区域上方的光罩；真空吸盘控制模块，用于控制所述真空吸盘的抓紧或释放；信号收集处理模块，用于采集所述真空吸盘控制模块的真空电压，并绘制检测回归曲线；数据分析模块，其接收经所述信号收集处理模块输出的所述检测回归曲线的斜率结果，并分析所述光罩与所述真空吸盘接触的位置是否存在污染物。
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