[发明专利]干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法有效
| 申请号： | 201611105616.0 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN106705888B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 王永刚;李文卿;孟晓辉;代琛;李昂;王聪 | 申请（专利权）人： | 北京空间机电研究所 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 安丽 |
| 地址： | 100076 北京市丰*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法，所利用的的非线性标定系统主要由激光干涉仪、补偿器、待测反射镜及其调整机构、柔性标定靶带组成。标定时，柔性标定靶带粘贴在待测反射镜镜面上。通过测量及数据处理，可获取待测反射镜的镜面坐标系与激光干涉仪CCD坐标系之间的非线性关系方程。根据非线性关系方程，可对实际测量的面形误差分布进行非线性矫正。本发明不但可以用于指导大口径、大曲率反射镜加工中的精确检测；还可以用于光学系统全链路仿真中，镜面坐标系与系统仿真模型的笛卡尔坐标系之间的非线性矫正和补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 标定 非线性关系 镜面 非线性矫正 激光干涉仪 干涉检测 反射镜 笛卡尔坐标系 系统仿真模型 反射镜加工 反射镜镜面 非线性标定 调整机构 光学系统 链路仿真 面形误差 实际测量 数据处理 补偿器 大口径 大曲率 粘贴 测量 检测 | ||
【主权项】：
1.干涉检测中的CCD坐标系与镜面坐标系非线性关系标定方法，其特征在于步骤如下：(1)根据待测反射镜的检测光路，计算柔性标定靶带的样式，并制作柔性标定靶带；(2)调整待测反射镜的检测光路，即调整激光干涉仪、补偿器、待测反射镜的相对位置，直至激光干涉仪产生全孔径的干涉条纹，然后在待测反射镜镜面上沿反射镜镜面的直径方向粘贴柔性标定靶带；(3)根据待测反射镜镜面方程及柔性标定靶带的圆孔阵列的相临圆孔间距，计算柔性标定靶带圆孔阵列在镜面坐标系上的投影位置Ps(ri)；(4)获取待测反射镜上的柔性标定靶带圆孔阵列成像到激光干涉仪CCD坐标系上的位置Pc(ri)；(5)精调光路，即将激光干涉仪产生的干涉条纹调至3～5根条纹，对待测反射镜进行面形检测，获得待测反射镜的初始的面形数据W(x,y)，即矫正前的面形数据；(6)根据步骤(3)的Ps(ri)和步骤(4)的Pc(ri)，获取待测反射镜的镜面坐标系与激光干涉仪CCD坐标系之间的非线性关系方程；(7)根据步骤(6)待测反射镜的镜面坐标系与激光干涉仪CCD坐标系之间的非线性关系方程，对步骤(5)初始的面形数据W(x,y)进行矫正，获得矫正后的面形数据A(x',y')。
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