[发明专利]一种变基准面凹坑深度测量方法

摘要

本发明公开了一种变基准面微小凹坑深度测量方法。其步骤为：单束激光束以每次n度沿半圆形轨道对位于圆心的待测凹坑扫描，将每一次扫描得到的数据构成一个等距图；如果等距图不封闭，则利用算法舍弃无效值，选取新的有效值，构成封闭的等距图；如果等距图封闭，则利用算法得到待测凹坑的上基准面和下基准面，两者的差值即此次扫描下待测凹坑的深度Δδ₁，最终比较180/n次的深度值，其中最大值即为实际凹坑深度。该测量方法能够进行多重基准面的选取，并进行测量值比较，使得凹坑基准面选取更为精确；采用非接触式测量，对于一些难以接触的凹坑也可以进行测量；对于撕裂、穿透等特殊情况也能进行测量；即使是野外也能使用；操作简易快捷，省时省力。

主权项

1.一种变基准面凹坑深度测量方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）单束激光束从0度以每次n度的间隔沿半圆形轨道对位于半圆形轨道圆心的待测凹坑进行扫描，并将每一次扫描反馈的信号通过激光器内的信号处理单元对其结果进行处理，将每一次扫描得到的数据构成一个等距图，直至扫描到180度，即得到180/n个等距图；（2）判断上述等距图上的等距线是否闭合；（3）如果闭合，则在闭合的等距图上任意选取一条等距线，设其数值为c，选取其相邻的一条等距线，设其数值为d，当（c‑d）/c≤1%，则采用c和d的平均值作为所述待测凹坑上基准面的数值，记为δ1；选取该等距图中所有数值中的最大值作为所述待测凹坑下基准面的数值，记为δ2，即得到的该次扫描下待测凹坑的深度值Δδ1=δ2‑δ1；（4）如果不闭合，则在该等距图上选取任意一条等距线，设其数值为a，当该数值a与其他任意一条等距线的数值b的相对差值即（a‑b）/b大于50%，视数值a为无效值，选择相对差值小于50%中与数值a相差最小的数值作为其有效值，将该有效值重新构成闭合的等距图；（5）计算每一次扫描下待测凹坑的深度值Δδ1，Δδ2，Δδ3……Δδ180/n，对每一次深度测量值进行比较，选取其中的最大值作为凹坑的实际深度值。