[发明专利]有机材料蒸镀设备和方法有效
| 申请号： | 201611110521.8 | 申请日： | 2016-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN106654058B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 陈黎暄 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种有机材料蒸镀设备和方法。本发明的有机材料蒸镀设备，其蒸发装置包括蒸发器皿、及导热球；所述蒸发器皿用于承载有机材料，所述导热球用于分散在有机材料中使有机材料受热均匀，在蒸镀过程中，所述导热球在有机材料内部均匀传热，从而能够平衡整个蒸镀过程中有机材料的热蒸发速率，有效提高蒸镀过程中有机材料热蒸发速率的稳定性，进而改善基板上的成膜均匀性，提高OLED器件质量。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 材料 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种有机材料蒸镀设备，其特征在于，包括：加热装置(10)、及设于加热装置(10)上的蒸发装置(20)；所述蒸发装置(20)包括蒸发器皿(21)、及导热球(22)；所述蒸发器皿(21)用于承载有机材料(50)，所述导热球(22)用于分散在有机材料(50)中使有机材料(50)受热均匀；所述导热球(22)的粒径为1μm‑100μm；所述导热球(22)为核壳结构，包括内核体(221)、及包覆内核体(221)的导热层(222)；所述导热层(222)为碳纳米管层、石墨烯层、或陶瓷层；所述内核体(221)为聚合物微球、或SiO2微球；所述蒸发器皿(21)为钨舟。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611110521.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
