[发明专利]一种曲面玻璃上均匀加热透明导电薄膜的热处理方法

摘要

本发明涉及一种曲面玻璃上均匀加热透明导电薄膜的热处理方法，尤其涉及风挡玻璃上的透明导电薄膜的热处理方法。本发明利用了红外加热技术的易控制、效率高等优点，根据ITO薄膜和强化玻璃对红外线的选择性吸收特性差异，使热量尽可能集中于ITO薄膜而不是强化玻璃，既保证了ITO薄膜的高效晶化又不使强化玻璃的应力产生严重衰减。本发明不仅能够使ITO透明导电膜电阻满足要求，又不会使钢化玻璃强度降低，同时具有工艺简单，效率高等优点，适合工业化生产。

主权项

1.一种曲面玻璃上均匀加热透明导电薄膜的热处理方法，其特征在于：该方法的步骤是：(1)通过磁控溅射技术在曲面玻璃上镀制非晶态ITO透明导电膜，磁控溅射技术镀制的非晶态ITO透明导电膜的表面电阻为17～20Ω/□；(2)将曲面玻璃(1)放置到模具架(2)上，模具架(2)包括底座、玻璃支撑架和红外灯管放置架，玻璃支撑架上表面的曲率外形与曲面玻璃的凸面外形一致，红外灯管放置架曲面形状与曲面玻璃的凹面外形一致，在红外灯管放置架上均匀布置红外加热灯管(3)，每一根红外加热灯管(3)与曲面玻璃的距离相等，红外加热灯管与ITO透明导电膜之间的距离为10～50mm，红外灯发射的红外线波长为1～2μm；(3)将曲面玻璃(1)、模具架(2)和红外加热灯管(3)一起送入真空室，抽真空；(4)待真空度降至9.0×10^‑3Pa以下时，当曲面玻璃外形为不规则外形时打开红外加热灯管的方式为：以边长最短的一端对应的一排灯管为第一排，从第一排开始，以每排为单位依次打开红外加热灯管，每排灯管打开时间间隔为10～30s，每排灯管打开时间间隔相同；(5)所有灯管都打开之后，加热时间为1～3min，然后同时关闭所有红外加热灯管；(6)关闭加热灯管30分钟后，将玻璃从真空室取出。