[发明专利]一种利用金属辅助刻蚀具有木材反向结构硅表面的方法

摘要

本发明公开了一种利用金属辅助刻蚀具有木材反向结构硅表面的方法。所述方法以木材为原料，先通过在非氧化气氛中烧结，得到具有木材结构的多孔碳，然后在多孔碳表面进行电镀处理，得到表面具有木材结构的多孔铜，之后用氢氟酸、双氧水、水的混合液作腐蚀剂浸没单晶硅，并将多孔铜压在硅平面上，铜起催化作用使腐蚀反应发生，形成与木材结构反向的硅表面，最后经氟硅烷和异丙醇混合液浸泡，得到具有疏水特性的硅表面。本发明高程度的借鉴自然，利用金属辅助拓扑了木材的微观构造，制得的木材反向结构硅表面具有优良的疏水性和光减反性。

主权项

一种利用金属辅助刻蚀具有木材反向结构硅表面的方法，其特征在于，具体步骤如下：步骤1，将木材置于非氧化性气氛中烧结，烧结温度不低于600℃，升温速率不高于3℃/min，制得具有天然木材结构的多孔碳；步骤2，以0.03～0.06mol/L的硫酸铜溶液为电镀液，采用0.01～0.08A/cm2的电流密度，在多孔碳表面镀铜，电镀10～18min后，取出干燥，得到具有天然木材结构的多孔碳/铜；步骤3，将多孔碳/铜覆盖在单晶硅平面上，充分接触后，浸没在氢氟酸、双氧水、水的体积比为6：2：1～4的混合腐蚀剂中，在铜的催化下，腐蚀20～40min，得到天然木材反向结构的单晶硅表面；步骤4，将腐蚀后的单晶硅表面浸入氟硅烷与异丙醇的体积比为1:4～8的混合液中，浸泡结束后取出干燥，制得疏水的具有木材反向结构的硅表面。