[发明专利]基板握持装置

摘要

本发明提供一种能够可靠地握持基板的基板握持装置。基板握持装置具有：举升多个支柱(2)的升降机构(20)、和分别配置在支柱(2)上的基板保持部(3)及基板引导部件(50)。支柱(2)具有使基板保持部(3)及基板引导部件(50)彼此相对移动的相对移动机构。该相对移动机构在支柱(2)上升时使基板保持部(3)向基板保持部(3)释放基板(W)的周缘部的方向移动，并且使基板引导部件(50)相对于基板保持部(3)上升，在支柱(2)下降时使基板保持部(3)向基板保持部(3)握持基板(W)的周缘部的方向移动，并且使基板引导部件(50)相对于基板保持部(3)下降。

主权项

一种基板握持装置，其特征在于，具有：基台；支承在所述基台上且能够在上升位置与下降位置之间相对于该基台沿上下方向相对移动的多个支柱；分别配置在所述支柱上且随着所述支柱的上下方向的移动而移动的基板保持部；和用于在所述支柱位于所述上升位置时对基板的周缘部进行引导的基板引导部件，所述基板保持部在所述支柱移动至所述下降位置时握持所述基板的周缘部，在所述支柱移动至所述上升位置时释放所述基板的周缘部，在所述支柱位于所述下降位置时，所述基板引导部件位于比所述基板保持部低的位置。