[发明专利]一种弥补频率响应缺陷的波前重建方法在审
申请号: | 201611121160.7 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN106595879A | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 郭云峰;宿杰;张宁;林冰;郝冠杰 | 申请(专利权)人: | 青岛大学 |
主分类号: | G01J9/02 | 分类号: | G01J9/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于光学测试技术领域,涉及一种弥补频率响应缺陷的波前重建新方法,通过横向剪切干涉系统获取x方向和y方向的横向剪切干涉图;通过相移法提取x方向和y方向的差分相位;对差分相位进行补零,并对新的阵列进行傅里叶变换,得到傅里叶频谱;通过Shannon插值将傅里叶频谱连续化,并抽取傅里叶频谱组成新的阵列;进行逆向傅里叶变换,并利用相移定理,得到x和y方向的一维相位波前;利用最小二乘法,获得二维相位波前;本发明不增加测量次数,完全可以避免傅里叶变换中带来的频率响应缺陷,并提高了测量的精度和稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 弥补 频率响应 缺陷 重建 方法 | ||
【主权项】:
一种弥补频率响应缺陷的波前重建方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)通过横向剪切干涉系统获取x方向和y方向的横向剪切干涉图;(2)通过相移法获取x方向和y方向的差分相位波前,得到N×N阵列的差分相位;(3)对步骤(2)中的差分相位进行补零,使新的阵列为N′=2N,即N′×N′的阵列;(4)对步骤(3)中处理过的差分相位进行傅里叶变换,得到差分相位的傅里叶频谱;(5)对步骤(4)中处理过的数据进行Whittaker‑Shannon插值,将差分相位的傅里叶频谱连续化;(6)抽取步骤(5)中傅里叶频谱上的点,使相位阵列成为N′/2;抽取时避开频谱中不能确定的点,即频率响应缺陷处,以避免频谱信息的丢失;(7)对步骤(6)中处理过的数据进行逆向傅里叶变换,并除以频移因子,即可以得到x方向和y方向的一维相位;(8)采用最小二乘法对步骤(7)中的数据进行处理,得到精确的二维待测相位波前:
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