[发明专利]液体材料气化装置有效
申请号: | 201611127279.5 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN106906452B | 公开(公告)日: | 2020-12-04 |
发明(设计)人: | 伊东丈智;井上正规 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场STEC |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 鹿屹;李雪春 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供液体材料气化装置,通过消除气液混合部和气化部之间产生的积液,稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。所述液体材料气化装置包括:将液体材料和气体混合而生成气液混合体的气液混合部(2);以及加热气液混合体而使液体材料气化的气化部(3),气液混合部(2)具有将气液混合体导出的气液混合体导出管(6),气化部(3)具有加热气液混合体的加热流道(HS),气液混合体导出管(6)的导出口(6P)配置在加热流道(HS)内。 | ||
搜索关键词: | 液体 材料 气化 装置 | ||
【主权项】:
一种液体材料气化装置,其特征在于,包括:气液混合部,将液体材料和气体混合而生成气液混合体;以及气化部,加热所述气液混合体,使所述液体材料气化,所述气液混合部具有将所述气液混合体导出的气液混合体导出管,所述气化部具有加热所述气液混合体的加热流道,所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的