[发明专利]液体材料气化装置有效

专利信息
申请号: 201611127279.5 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN106906452B 公开(公告)日: 2020-12-04
发明(设计)人: 伊东丈智;井上正规 申请(专利权)人: 株式会社堀场STEC
主分类号: C23C16/448 分类号: C23C16/448
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 鹿屹;李雪春
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供液体材料气化装置,通过消除气液混合部和气化部之间产生的积液,稳定地进行朝向气化部的液体输送和气化部中的气化。所述液体材料气化装置包括:将液体材料和气体混合而生成气液混合体的气液混合部(2);以及加热气液混合体而使液体材料气化的气化部(3),气液混合部(2)具有将气液混合体导出的气液混合体导出管(6),气化部(3)具有加热气液混合体的加热流道(HS),气液混合体导出管(6)的导出口(6P)配置在加热流道(HS)内。
搜索关键词: 液体 材料 气化 装置
【主权项】:
一种液体材料气化装置,其特征在于,包括:气液混合部,将液体材料和气体混合而生成气液混合体;以及气化部,加热所述气液混合体,使所述液体材料气化,所述气液混合部具有将所述气液混合体导出的气液混合体导出管,所述气化部具有加热所述气液混合体的加热流道,所述气液混合体导出管的导出口配置在所述加热流道内。
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