[发明专利]用于通过喷嘴沉积有机材料的方法和所述方法中使用的装置有效
| 申请号： | 201611127654.6 | 申请日： | 2013-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN106784310B | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 西达尔塔·哈里克思希纳·莫汉;保罗·E·伯罗斯 | 申请（专利权）人： | 环球展览公司 |
| 主分类号： | H01L51/00 | 分类号： | H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李琳 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于通过喷嘴沉积有机材料的方法和所述方法中使用的装置。所述方法包含将包括所述有机材料的蒸气经由入口引入喷嘴中，将所述蒸气从所述喷嘴远端的出口喷出，所述出口具有横截面积A1；所述喷出之后，将所述有机材料沉积于衬底上，其中所述蒸气穿过在所述入口与所述出口之间在离所述出口轴向距离L1处的所述喷嘴的一部分，所述喷嘴的所述部分具有横截面积A2，其中A1/A2为约16或16以上。使用所述喷嘴的所述方法有效降低或避免接近所述衬底的所述喷嘴末端的压力突然下降。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 通过 喷嘴 沉积 有机 材料 方法 使用 装置 | ||
【主权项】：
一种沉积有机材料的方法，其包含：将包括所述有机材料的蒸气经由入口引入喷嘴中；将所述蒸气从所述喷嘴远端的出口喷出，所述出口具有横截面积A1；所述喷出之后，沉积所述有机材料于衬底上以形成有机发射或检测区域的至少一部分，其中，所述蒸气穿过在所述入口与所述出口之间在离所述出口轴向距离L1处的喷嘴的一部分，所述喷嘴的所述部分具有横截面积A2，其中A1/A2为约16或16以上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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