[发明专利]粉末冶金方法及靶材的形成方法在审
| 申请号： | 201611129151.2 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN108611607A | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;宋佳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15;B22F3/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种粉末冶金方法及靶材的形成方法，其中，粉末冶金方法包括：提供粉体；对所述粉体进行热等静压处理，形成坯料；对所述坯料进行退火处理，形成成品。其中，对所述粉体进行热等静压处理之后，进行所述退火处理。所述退火处理能够使所述坯料再结晶，且能够使坯料内的晶粒长大，增加所形成的成品的致密度。同时，所述退火处理能够减小所述热等静压处理过程中在所述坯料中产生的应力，减少所述坯料中的缺陷，进而改善所述形成成品的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 坯料 退火处理 粉末冶金 热等静压 粉体 靶材 晶粒长大 再结晶 减小 | ||
【主权项】：
1.一种粉末冶金方法，其特征在于，包括：提供粉体；对所述粉体进行热等静压处理，形成坯料；对所述坯料进行退火处理，形成成品。
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