[发明专利]锻造方法及靶材的形成方法在审
申请号: | 201611129168.8 | 申请日: | 2016-12-09 |
公开(公告)号: | CN108607943A | 公开(公告)日: | 2018-10-02 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;宋佳 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B21J5/00 | 分类号: | B21J5/00;B21K29/00;C23C14/34 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 徐文欣;吴敏 |
地址: | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种锻造方法及靶材的形成方法,其中,锻造方法包括:提供铸锭,所述铸锭为柱体;对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造,形成锻锭,所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向,所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。其中,通过第一锻造和第二锻造细化铸锭的晶粒,能够在沿铸锭的轴向和垂直于所述铸锭的轴向上对铸锭进行锻造,从而能够使铸锭在各个方向上均受力,从而能够充分对晶粒进行细化,减少所形成靶材表面的乱花。 | ||
搜索关键词: | 铸锭 锻造 轴向 晶粒 靶材 细化 靶材表面 方向垂直 锻锭 受力 柱体 垂直 | ||
【主权项】:
1.一种锻造方法,其特征在于,包括:提供铸锭,所述铸锭为柱体;对所述铸锭进行第一锻造和第二锻造,形成锻锭,所述第一锻造的方向沿所述铸锭轴向,所述第二锻造的方向垂直于铸锭轴向。
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