[发明专利]一种刀具复合涂层的制备方法有效
| 申请号： | 201611130593.9 | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106756841B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 王启民;邹长伟;丁继成;郑军 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵青朵 |
| 地址： | 510062 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种刀具复合涂层的制备方法，具体为：A)将清洗后的刀具装夹在高功率脉冲磁控溅射仪的工件架上，抽真空后开启加热器，再调节电加热器；B)在高功率脉冲磁控溅射仪的腔体中通入惰性气体，开启偏压电源对刀具进行辉光清洗；C)辉光清洗结束后，调节高功率脉冲磁控溅射仪腔体的真空度，开启钛靶沉积Ti层；D)轰击完毕后，打开氮气流量计阀门后沉积TiN层与TiSiN层，冷却后得到刀具涂层。本发明利用高功率脉冲磁控溅射技术沉积制备TiSiN纳米复合涂层，该TiSiN基刀具涂层制备工艺稳定可靠，重复性强，对难加工材料的高速加工、各种机械零部件产品的性能的提升及装备制造业的发展具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 高功率脉冲 刀具 沉积 制备 清洗 磁控溅射 刀具涂层 复合涂层 辉光 腔体 磁控溅射技术 纳米复合涂层 加热器 磁控溅射仪 氮气流量计 机械零部件 难加工材料 装备制造业 电加热器 惰性气体 高速加工 偏压电源 制备工艺 抽真空 工件架 阀门 装夹 钛靶 轰击 冷却 应用 | ||
【主权项】：
1.一种刀具复合涂层的制备方法，包括以下步骤：A)，将清洗后的刀具装夹在高功率脉冲磁控溅射仪的工件架上，抽真空，高功率脉冲磁控溅射仪腔体的真空度高于(1～5)×10‑3Pa时开启加热器至温度为300～500℃，工件架的转速为2～5rpm，当真空度为(1.2～5.5)×10‑3Pa时，调节电加热器至温度为200～400℃；B)，在高功率脉冲磁控溅射仪的腔体中通入惰性气体，开启偏压电源对刀具进行辉光清洗，真空度为0.3～0.9Pa，偏压为800～1200V；C)，辉光清洗结束后将高功率脉冲磁控溅射仪腔体的真空调节为(1～9)×10‑1Pa，开启高功率脉冲磁控溅射电源溅射钛靶，轰击刀具基体生长Ti金属结合层，偏压为500～1000V，占空比3～5％；D)，轰击完毕后，偏压降至50～400V，脉冲电源占空比为3％，打开氮气流量计阀门调节真空室气压为0.6～0.7Pa，控制TiSi靶材的功率为1～3KW，峰值脉冲电压为800～1000V，开始沉积TiN过渡层和TiSiN功能层，沉积60～100min，冷却后得到刀具复合涂层。
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