[发明专利]磁轴承式真空泵有效
| 申请号： | 201611139424.1 | 申请日： | 2016-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN107202016B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04C29/00 | 分类号： | F04C29/00;F04C28/28 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供磁轴承式真空泵，包括：作为第一位移信号生成部的处理系统，基于以分辨率倍率K(其中，K＞1)对位移调制波信号进行放大所得的信号，生成包含规定位置的第一位移区域中的高分辨率位移信号；作为第二位移信号生成部的处理系统，基于位移调制波信号的差分信号，生成包含第一位移区域的更大的第二位移区域中的通常分辨率位移信号；切换控制部，基于从高分辨率位移信号或通常分辨率位移信号中除去稳态响应离心旋转位移的成分所得的信号，选择高分辨率位移信号及通常分辨率位移信号中的任一个位移信号；以及PID控制部，基于切换控制部所选择的位移信号来对磁轴承进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 位移信号 分辨率 高分辨率 磁轴承 调制波信号 处理系统 真空泵 差分信号 离心旋转 稳态响应 放大 | ||
【主权项】：
1.一种磁轴承式真空泵，其特征在于包括：磁轴承，使转子磁悬浮；第一位移信号生成部，以K＞1的分辨率倍率K对经由所述转子的从规定位置算起的位移而调制后的位移调制波信号进行放大，基于放大后的所述位移调制波信号，生成包含所述规定位置的第一位移区域中的高分辨率位移信号；第二位移信号生成部，基于所述位移调制波信号，生成包含所述第一位移区域的更大的第二位移区域中的低分辨率位移信号；选择部，基于从所述高分辨率位移信号或所述低分辨率位移信号中除去稳态响应离心旋转位移的成分所得的非稳态响应信号，选择所述高分辨率位移信号及所述低分辨率位移信号中的任一个位移信号；以及轴承控制部，基于所述选择部所选择的位移信号来对所述磁轴承进行控制。
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