[发明专利]一种17%相对带宽低损耗声表滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 201611148487.3 | 申请日： | 2016-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN106849898A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 闫坤坤;魏勇平;杨思川;黄歆;张恩宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科飞鸿科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司11260 | 代理人： | 郑立明,赵镇勇 |
| 地址： | 100095 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种17％相对带宽低损耗声表滤波器，包括晶片材料，晶片材料上设有梯形声表换能器和表面涂覆吸声层，梯形声表换能器包括串联谐振臂和并联谐振臂。采用的晶片材料为15°YX‑LiNbO3，其机电耦合系数(k2)大于20％，适用于制备宽带低损耗器件；设计结构采用梯形设计结构，其利用声波面波谐振器作为梯形拓扑结构的基本阻抗元件来获得滤波器的响应。串联臂谐振器的谐振频率和并联臂的反谐振频率形成滤波器的通带，串联臂谐振器的反谐振频率和并联臂的谐振频率形成滤波器的带外。实现了3dB相对带宽17％的低损耗声表滤波器，其中仿真频响图如图3所示，3dB相对带宽为19％；实测器件中心频率为415M，3dB带宽为70.6M，相对带宽为17％，损耗3.6dB，带内波动0.8dB。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 17 相对 带宽 损耗 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种17％相对带宽低损耗声表滤波器，其特征在于，包括晶片材料，所述晶片材料上设有声表换能器和表面涂覆吸声层，所述声表换能器设计为梯形结构，包括串联谐振臂和并联谐振臂，所述串联谐振臂的一端设有输入电极、另一端设有输出电极，所述并联谐振臂的下端设有接地电极。
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