[发明专利]一种抑制激光散斑的MEMS振镜及其制作方法

摘要

本发明提供一种激光显示系统中抑制激光散斑的MEMS振镜及其制作方法，该MEMS振镜以SOI片(Silicon‑On‑Insulator)为加工对象，采用光刻、刻蚀和镀膜等微加工工艺制作，主要包含反射镜面、谐振悬梁、驱动梳齿和检测梳齿等结构。反射镜面表面设计有随机分布且微小的波浪起伏特征，在实现激光反射的同时通过干扰激光相位实现散斑抑制功能。反射镜面上设计有与之相匹配的驱动梳齿、检测梳齿和谐振梁结构，通过梳齿静电驱动可以实现反射镜的面内振动，利用人眼视觉暂留时间内散斑图像的叠加从而实现散斑对比度因时间平均而被降低，增强器件的散斑抑制效果。本发明所提供的MEMS振镜形式的激光散斑抑制器件具有可靠性高、能耗低、散斑抑制效果明显、加工简单，易于大批量生产等特点。

主权项

1.一种抑制激光散斑的MEMS振镜的制备方法，其特征在于：该MEMS振镜由SOI片制成，包括反射镜面(31)、驱动反射镜面(31)振动的驱动梳齿(33)和反馈振动的检测梳齿(35)、谐振梁(39)，其中，所述反射镜面(31)的表面有波浪起伏结构，保证对入射光进行反射，同时干扰激光相位实现散斑抑制功能；该制备方法包括以下步骤：(1)在SOI的底层制备背腔，该背腔刻蚀至SOI埋氧层，使得埋氧层暴露出来；(2)在SOI的器件层通过光刻、浅刻蚀和腐蚀抛光制作波浪形特征表面；(3)在波浪起伏形特征表面沉积金属反射层，金属反射层仍然维持波浪特征；(4)将步骤(3)获得的器件经过光刻并从器件层刻蚀到埋氧层，形成电隔离槽和振镜的主要结构，所述电隔离槽位于各梳齿结构与电极的周围；(5)腐蚀暴露在背腔的埋氧层，完成振镜制作。