[发明专利]显影液碱液浓度测量方法及调节方法

摘要

本发明公开了一种显影液碱液浓度测量方法及调节方法，测量方法包括：数据采集：搜集显影不同片数基板时显影液样品的在线碱液浓度值和实际碱液浓度值；建立模型：根据量测出的在线碱液浓度值减去实际碱液浓度值得到的碱液误差值，建立碱液误差值与基板样品的片数的修正函数模型；导入模型：将修正函数模型导入在线量测系统，得出实际碱液浓度值。通过建立显影液中碱液浓度和显影片数之间的修正函数模型，并通过该函数关系模型来修正现有的在线电导率仪量测系统，最大程度减少了显影体系中随显影片数增加而增多的显影产物的干扰，准确、快速地在线测定和监控显影液中碱液浓度，高精度地管理显影液的成分和浓度，为形成精准的显影图形提供技术保障。

主权项

1.一种显影液碱液浓度测量方法，其特征在于，包括：数据采集：针对同一类型基板样品，搜集显影不同片数的基板样品时，在线电导率仪量测系统所量测出的显影液样品的在线碱液浓度值，以及离线电位滴定仪所量测出的显影液样品的实际碱液浓度值；建立模型：根据量测出的在线碱液浓度值减去实际碱液浓度值得到的碱液误差值，建立碱液误差值与基板样品的片数的修正函数模型；导入模型：将所述修正函数模型导入在线量测系统，即根据基板样品的片数得出碱液误差值，然后利用量测的在线碱液浓度值减去碱液误差值即得出实际碱液浓度值。