[发明专利]晶圆装卸台效率监控方法有效
| 申请号： | 201611160423.5 | 申请日： | 2016-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN108227508B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 赵樑;朱志坚;张瀛;王君;朱吉敏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05B15/00 | 分类号： | G05B15/00;G05B19/418;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆装卸台效率监控方法，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：1）结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；2）当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。本发明通过结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型，在晶圆装卸台闲置时可以通过所述监控模型正确区分正常闲置与非正常闲置，从而提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 装卸 效率 监控 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆装卸台效率监控方法，其特征在于，所述晶圆装卸台效率监控方法至少包括以下步骤：1)结合单个机台中晶圆批次同机台设备的关系及机台的特性建立监控模型；2)当机台的晶圆装卸台闲置时，依据所建立的监控模块判断晶圆装卸台属于正常闲置或非正常闲置。
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