[发明专利]全自动双面曝光机有效

专利信息
申请号: 201611174238.1 申请日: 2016-12-19
公开(公告)号: CN106547174B 公开(公告)日: 2018-04-06
发明(设计)人: 张方德;谢桂平 申请(专利权)人: 浙江欧视达科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 温州金瓯专利事务所(普通合伙)33237 代理人: 陈晖
地址: 325000 浙江省温州市高新技术*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种全自动双面曝光机,其包括机台,于同一轴线上依次设置入料区、第一面曝光区、转移翻板区、第二面曝光区以及出料区;其设有进料转移机构,第一曝光机构,转移翻板机构,跨设于转移翻板区域第一面曝光区上方,并将完成第一面曝光的板件由第一面曝光区移载至转移翻板区,并将完成第一面曝光的板件由第一面翻转至第二面,出料转移机构,第二曝光机构,通过将第一面曝光区和第二面曝光区横向设置,可以有效的减少双面自动曝光机的长度,且可以通过横向移动第一曝光平台或第二曝光平台实现曝光的操作,极大的降低了整机的长度,且提高了其效率,且转移翻板机构操作更加简单方便。
搜索关键词: 全自动 双面 曝光
【主权项】:
一种全自动双面曝光机,其特征在于:其包括机台,于同一轴线上依次设置入料区、第一面曝光区、转移翻板区、第二面曝光区以及出料区;进料转移机构,跨设于入料区以及第一面曝光区上方,并将待曝光的板件由入料区移载至第一面曝光区;第一曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第一曝光平台,该第一曝光平台可横向滑移设置在机台的第一面曝光区内,该第一曝光平台承载进料转移机构移载的待曝光的板件,并将其移动至第一曝光模组下方,并与第一曝光模组贴合;转移翻板机构,跨设于转移翻板区与第一面曝光区上方,并将完成第一面曝光的板件由第一面曝光区移载至转移翻板区,并将完成第一面曝光的板件由第一面翻转至第二面;出料转移机构,跨设于转移翻板区、第二面曝光区以及出料区上方,并将完成第一面曝光的板件由转移翻板机构上送至第二面曝光区,同时将第二面曝光区的完成第二面曝光的板件送至出料区;第二曝光机构,包括可纵向升降且周向摆动的第二曝光平台,该第二曝光平台可横向滑移设置在机台的第二面曝光区内,该第二曝光平台承载出料转移机构移载的完成第一面曝光的板件,并将其移动至第二曝光模组下方,并与第二曝光模组贴合,所述转移翻板机构包括吸盘结构,所述吸盘结构固定设置在翻转板上,所述翻转板两端铰接设置在移动架上,且在移动架两侧设置驱动机构,所述驱动机构驱使翻转板以垂直进料通道的轴线转动,且所述移动架可滑移设置在机台上,所述吸盘结构包括一个表面设置细孔的吸盘以及设置在吸盘结构上方的管道,且所述管道的风量通过可调气泵控制,根据待曝光板件的类型自动调节风量大小。
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