[发明专利]一种微机械可调滤波器有效
| 申请号： | 201611177118.7 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106817103B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 董鹏;李志东;潘雄文;段斌 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H1/00 | 分类号： | H03H1/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 100854 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械可调滤波器，包括基片、两个梳齿电容、可调电感、两个可变电容和信号线；基片中部设置有基片凹槽，可调电感包括悬浮设置在基片凹槽内的螺线管电感和微机械开关，微机械开关安装在基片表面且通过静电驱动控制调节螺线管电感；螺线管电感两端均连接可变电容和梳齿电容，两个梳齿电容与螺线管电感通过信号线串联在一起，两个可变电容与螺线管电感通过信号线并联在一起。本发明利用可调电感与可变电容，可同时实现数字可调和连续可调的滤波器；悬浮设置可调电感，相比较传统平面电感具有更高的品质因数；可显著降低滤波器尺寸，具有更高的性能和更宽的频带可调范围，从而降低系统体积，提高系统集成性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 可调 滤波器 | ||
【主权项】：
一种微机械可调滤波器，其特征在于，包括基片(2)、两个梳齿电容(3)、可调电感、两个可变电容(5)和信号线(6)；所述基片(2)中部设置有基片凹槽(21)，所述可调电感包括悬浮设置在所述基片凹槽(21)内的螺线管电感(4)和微机械开关(1)，所述微机械开关(1)安装在基片(2)表面且通过静电驱动控制调节所述螺线管电感(4)；所述螺线管电感(4)两端均连接所述可变电容(5)和梳齿电容(3)，两个所述梳齿电容(3)与螺线管电感(4)通过所述信号线(6)串联在一起，两个所述可变电容(5)与螺线管电感(4)通过所述信号线(6)并联在一起。
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