[发明专利]基板清洗设备有效
申请号: | 201611179594.2 | 申请日: | 2016-12-19 |
公开(公告)号: | CN106773161B | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 张鹏飞;沈顺杰;龚冰 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种基板清洗设备,其通过采用由清洗旋转轴带动的密集排列的多个清洗刷头取代包裹在清洗旋转轴表面的毛刷,使得基板与毛刷之间的线接触变为基板与多个清洗刷头之间的面接触,从而大大增加基板在清洗时与清洗刷头之间的接触面积,提升清洗的接触时间,使基板背面的滚轮印清除的更加彻底,从而提升基板的清洁度,保证制程质量。 | ||
搜索关键词: | 清洗 设备 | ||
【主权项】:
1.一种基板清洗设备,其特征在于,包括:机架(1)、以及设于所述机架(1)上的在同一平面上依次排列的第一基板传送区(11)、基板清洗区(12)、和第二基板传送区(13);所述第一基板传送区(11)和第二基板传送区(13)均包括:相互平行间隔排列的多个传送旋转轴(22),所述基板清洗区(12)包括:至少两个与传送旋转轴(22)平行且间隔排列的清洗旋转轴(21);每一个清洗旋转轴(21)上均设有多个相互平行间隔排列的支撑轴(211),所述支撑轴(211)与所述清洗旋转轴(21)垂直传动连接,每一个支撑轴(211)远离清洗旋转轴(21)的一端套设有一个清洗刷头(212);各个清洗刷头(212)远离所述清洗旋转轴(21)的一侧端面均位于与所述清洗旋转轴(21)平行的同一平面上,相邻的两个清洗刷头(212)的侧面相切;每一个传送旋转轴(22)上均套设有多个依次间隔排列的传送滚轮(221);还包括:多个自由滚轮(213),所述自由滚轮(213)设于所述第一基板传送区(11)与基板清洗区(12)的连接处、以及所述第二基板传送区(13)和基板清洗区(12)的连接处,所述自由滚轮(213)的顶点与各个清洗刷头(212)远离所述清洗旋转轴(21)的一侧端面处于同一平面。
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