[发明专利]氧化铌靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201611179676.7 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106747439B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 王志坚;黄培;贾帅广;黄美松;刘华;樊玉川 | 申请（专利权）人： | 湖南稀土金属材料研究院 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/645 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化铌靶材及其制备方法，包括以下步骤：将五氧化二铌粉和铌粉混合均匀，在氧气氛围或空气氛围下于600～800℃煅烧0.5～3h，得到预处理粉体；将预处理粉体在保护气体氛围下于900～1200℃在石墨模具中热压烧结0.5～1h，得到氧化铌靶材，氧化铌靶材的化学式为Nb2Ox，4.0≤x≤4.9。如此，将五氧化二铌粉和铌粉混合均匀后进行氧化性煅烧处理，铌粉表面氧化形成活性氧化膜阻隔，从而起到分散五氧化二铌粉的作用，避免五氧化二铌粉出现局部烧结导致团聚现象，得到的预处理粉体流动性好且粒度分布集中。五氧化二铌粉体比表面积高、活性大，且粒径小，进而降低了热压烧结的温度和减少热压烧结的时间，从而降低热压烧结的能耗和成本，而且还有效地提高了氧化铌靶材的致密化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铌靶材 五氧化二铌 热压烧结 预处理 铌粉 粉体 煅烧 制备 五氧化二铌粉体 粉体流动性 保护气体 表面氧化 活性氧化 空气氛围 粒度分布 石墨模具 团聚现象 氧气氛围 烧结 氧化性 有效地 致密化 粒径 能耗 阻隔 | ||
【主权项】：
1.一种氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将五氧化二铌粉和铌粉混合均匀，在氧气氛围或空气氛围下于600～800℃煅烧0.5～3h，得到预处理粉体；将所述预处理粉体在保护气体氛围下于900～1200℃在石墨模具中热压烧结0.5～1h，得到氧化铌靶材，所述氧化铌靶材的化学式为Nb2Ox，4.0≤x≤4.9，其中所述石墨模具提供还原性氛围。
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