[发明专利]一种单片集成距离传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201611183643.X | 申请日： | 2016-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN108231744B | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 李成;陈龙;袁理 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/552 | 分类号： | H01L23/552;H01L25/16;H01L31/0232;H01L31/173;H01L31/18;G01S17/48 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种单片集成距离传感器及其制造方法，该单片集成距离传感器包括：衬底；光发射器，其形成于所述衬底，用于发射预定波段的光；光接收器，其形成于所述衬底，用于接收由外界反射的所述预定波段的光，并产生与接收到的光的强度对应的电信号；金属电极，其设置于所述衬底表面，与所述光发射器和所述光接收器中的至少一者电连接，所述金属电极位于所述光发射器和所述光接收器之间；金属屏蔽层，其设置于所述光发射器和所述光接收器的表面之外。根据本申请，通过将光接收器和光发射器集成在一个衬底上，缩小了距离传感器的体积，并且，采用金属电极对光接收器和光发射器进行光学隔离，降低了制造的复杂性和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光发射器 光接收器 距离传感器 衬底 单片集成 金属电极 预定波段 制造 金属屏蔽层 衬底表面 光学隔离 接收器 电连接 反射 申请 发射 | ||
【主权项】：
1.一种单片集成距离传感器，该单片集成距离传感器包括：衬底；光发射器，其形成于所述衬底，用于发射预定波段的光；光接收器，其形成于所述衬底，用于接收由外界反射的所述预定波段的光，并产生与接收到的光的强度对应的电信号；金属电极，其设置于所述衬底表面，与所述光发射器和所述光接收器中的至少一者电连接，所述金属电极位于所述光发射器和所述光接收器之间；以及金属屏蔽层，其设置于所述光发射器和所述光接收器的表面之外,其中，所述衬底表面形成有隔离凹槽，所述隔离凹槽具有位于所述光接收器和所述光发射器之间的部分，所述隔离凹槽的内壁上形成有非金属屏蔽层。
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