[发明专利]一种用于OLED检测设备的运动平台

摘要

本发明涉及运动平台技术领域，尤其是一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座，所述Y1永磁直线电机与Y2永磁直线电机一侧均设置有Y向机械缓冲器，所述X永磁直线电机一侧设置有X向机械缓冲器，其中Z向微调台包括Z向永磁直线电机、Z向机构、Z向平衡弹簧与Z向载物台，所述Z向载物台一侧设置有楔形块，所述Z向微调台安装有柔性弹片，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。本发能够明保证载物台面在XY的整个运动行程内的垂向准确性，其在检测行程范围内载物台的平面度误差要小于1um，且具有紧凑、精密、高响应的特点。

主权项

1.一种用于OLED检测设备的运动平台，该平台由上至下机构依次包括：真空吸盘(18)、Z向微调台，XY方向移动台、大理石基座(1)，XY方向移动台由三套相互独立的Y方向上平行的Y1永磁直线电机(3)、Y2永磁直线电机(10)和X永磁直线电机(6)，所述Y1永磁直线电机(3)与Y2永磁直线电机(10)一侧均设置有Y向机械缓冲器(8)，所述X永磁直线电机(6)一侧设置有X向机械缓冲器(9)，其特征在于，其中Z向微调台(17)包括Z向永磁直线电机(24)、Z向机构、Z向平衡弹簧(21)与Z向载物台(20)，所述Z向载物台(20)一侧设置有楔形块(23)，所述Z向微调台(17)安装有柔性弹片(26)，简化了垂向的机构设计，减少了Z轴运动过程中的直线度误差。