[发明专利]一种电容式MEMS双轴加速度计有效
| 申请号： | 201611196565.7 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106597016B | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 雷龙海;薛晓东;王龙峰;徐浩谋;王志 | 申请（专利权）人： | 四川知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 郭受刚 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式MEMS双轴加速度计，所述加速度计由下到上依次包括：基片、绝缘层、敏感器件层；敏感器件层包括：固定框架、折叠梁、敏感质量块、梳齿组合、锚点；其中，固定框架通过绝缘层固定在基片上，敏感质量块的4个端角分别设有一对折叠梁，每对折叠梁的中线正交，折叠梁的一端与固定框架连接，折叠梁的另一端与敏感质量块连接；敏感质量块四周分布有多个梳齿组合，梳齿组合包括：固定梳齿和可动梳齿，固定梳齿一端与固定框架连接，可动梳齿一端与敏感质量块连接，实现了电容式MEMS双轴加速度计灵敏度高、正交误差小的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
一种电容式MEMS双轴加速度计，其特征在于，所述加速度计由下到上依次包括：基片、绝缘层、敏感器件层；敏感器件层包括：固定框架、折叠梁、敏感质量块、梳齿组合、锚点；其中，固定框架通过锚点固定在基片上，敏感质量块的4个端角分别设有一对折叠梁，每对折叠梁的中线正交，折叠梁的一端与固定框架连接，折叠梁的另一端与敏感质量块连接；敏感质量块四周分布有多个梳齿组合，梳齿组合包括：固定梳齿和可动梳齿，固定梳齿一端与固定框架连接，可动梳齿一端与敏感质量块连接，敏感质量块的质量大小能够调节。
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