[发明专利]一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置在审
| 申请号： | 201611197128.7 | 申请日： | 2016-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN106480508A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 吴亮;刘理想;曹凯;汪佳;龚加玮;王琦琨;王智昊 | 申请（专利权）人： | 苏州奥趋光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/40 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 215699 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置，通过熔融NaOH‑KOH低共融混合物对氮化铝晶体进行湿法腐蚀，装置包括用于盛放熔融NaOH‑KOH低共融混合物的坩埚、设于坩埚中的用于放置氮化铝晶体的隔网、包覆在坩埚侧向周部的隔热套、设于坩埚底部的加热机构、用于实时测量坩埚中熔融NaOH‑KOH低共融混合物温度的测温机构。本发明一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置，通过使用金属镍材料制成的坩埚和隔网，耐腐蚀性高，基本杜绝腐蚀反应以外的其他化学反应，保证了腐蚀的质量，安全性高；通过设置测温机构，热电偶浸入熔融NaOH‑KOH低共融混合物内部，所测温度为实时温度，对腐蚀的温度参数控制准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氮化 晶体 湿法 腐蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种用于氮化铝晶体的湿法腐蚀装置，通过熔融NaOH‑KOH低共融混合物对氮化铝晶体进行湿法腐蚀，其特征在于：所述装置包括：用于盛放熔融NaOH‑KOH低共融混合物的坩埚；设于所述坩埚中的用于放置所述氮化铝晶体的隔网；包覆在所述坩埚侧向周部的隔热套；设于所述坩埚底部的加热机构；用于实时测量所述坩埚中熔融NaOH‑KOH低共融混合物温度的测温机构。
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