[发明专利]一种响应光谱可调节的光电探测器

摘要

本发明提供了一种响应光谱可调节的新型光电探测器，其特征在于，器件结构自下而上依次为是绝缘衬底、栅极、第一绝缘隔离层、导电沟道层、金属源漏极、第二绝缘隔离层、等离激元金属纳米结构、电光晶体覆盖层及透明引出电极。器件利用外加电压调控电光晶体覆盖层的折射率，使得覆盖物的折射率随外电压的改变而改变，进而实现调控金属纳米结构的等离激元共振波长和探测器的响应波长。本探测器件结构可以通过电压调节响应光谱，易于小型化和微型化，将在光电子器件和光通讯领域有很好的应用前景。

主权项

一种响应光谱可调节的光电探测器，包括自下而上设置的绝缘衬底(1)、金属栅极(2)、第一绝缘隔离层(3)以及半导体层(4)，在所述半导体层(4)上两侧分别设有金属源极(5)和金属漏极(6)；其特征在于：在所述半导体层(4)上依次设有第二绝缘隔离层(7)及电光晶体覆盖层(9)；所述第二绝缘隔离层(7)及电光晶体覆盖层(9)隔离设置于所述金属源极(5)和金属漏极(6)之间；在所述第二绝缘隔离层(7)上间隔设置有等离激元金属纳米结构(8)；所述等离激元金属纳米结构(8)上端与所述电光晶体覆盖层(9)接触，下端与所述半导体层(4)相接触；在所述电光晶体覆盖层(9)上方两侧设置有用于外接电路的透明引出电极。