[发明专利]一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备装置及制备方法

摘要

本发明属于分析检测计量技术领域，具体涉及一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备装置及制备方法。该装置包括分解容器、第一样气钢瓶、第二样气钢瓶、接旋片真空泵，分解容器出口端连接于第一样气钢瓶的入口端，第一样气钢瓶出口端连接于第二样气钢瓶的入口端，第二样气钢瓶出口端连接于收气口；充气管线分别连接第一样气钢瓶和第二样气钢瓶的充气端；抽气管线连接于分解容器、第一样气钢瓶、第二样气钢瓶的抽气端，抽气管线连接于接旋片真空泵。本发明保证混合气体浓度值准确，每次操作量小，安全性高，经济性好。

主权项

1.一种仪器校准用氟化氢混合气体的制备装置，其特征在于，该装置包括分解容器(14)、第一样气钢瓶(5)、第二样气钢瓶(10)、接旋片真空泵(8)，分解容器(14)出口端连接于第一样气钢瓶(5)的入口端，第一样气钢瓶(5)出口端连接于第二样气钢瓶(10)的入口端，第二样气钢瓶(10)出口端连接于收气口；充气管线(1)分别连接第一样气钢瓶(5)和第二样气钢瓶(10)的充气端；抽气管线(9)连接于分解容器(14)、第一样气钢瓶(5)、第二样气钢瓶(10)的抽气端，抽气管线(9)连接于接旋片真空泵(8)。