[发明专利]一种有机电极阻变存储器及其制备方法有效
申请号: | 201611206793.8 | 申请日: | 2016-12-23 |
公开(公告)号: | CN106601910B | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 闫小兵;张磊;赵建辉 | 申请(专利权)人: | 河北大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 石家庄国域专利商标事务所有限公司 13112 | 代理人: | 白利霞;苏艳肃 |
地址: | 071002 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明公开了一种有机电极阻变存储器,其结构是在衬底上依次形成有PCBM有机电极介质层、Zr0.5Hf0.5O2阻变转换层和Ag电极层。同时公开了该阻变存储器的制备方法:包括清洗、干燥衬底;将PCBM溶液旋涂于衬底上真空干燥后形成PCBM有机电极介质层;在PCBM有机电极介质层上通过磁控溅射法生长Zr0.5Hf0.5O2阻变转换层;在Zr0.5Hf0.5O2阻变转换层上生长Ag电极层。本发明提供的阻变存储器使用了PCBM薄膜作为阻变存储器的有机电极介质层,其有别于传统使用氧化物制备的存储器件,其结构独特,性能表现良好,是一种存储性能更为稳定、耐久性强、应用前景更为广阔的阻变存储器。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 电极 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种有机电极阻变存储器,其特征在于,其结构是在衬底上依次形成有PCBM有机电极、Zr0.5Hf0.5O2阻变转换层和Ag电极层。
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