[发明专利]芯片倒装贴片设备及方法在审
申请号: | 201611208012.9 | 申请日: | 2016-12-23 |
公开(公告)号: | CN106783717A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 谭小春 | 申请(专利权)人: | 合肥矽迈微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/60 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人: | 翟羽,高翠花 |
地址: | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种芯片倒装贴片设备及方法,所述设备包括芯片存储区及芯片贴片区,芯片存储区与芯片贴片区相对设置,在芯片存储区与芯片贴片区之间,沿芯片存储区至芯片贴片区的方向设置有第一转盘和第二转盘,第一转盘及第二转盘均包括转轴及围绕所述转轴圆周设置的多个芯片吸取装置,第一转盘吸取芯片储存区的芯片,第一转盘的芯片吸取装置与芯片的接触面为芯片具有焊盘的表面,第二转盘吸取被第一转盘吸附的芯片并将芯片放置在芯片贴片区,芯片具有焊盘的表面朝向芯片贴片区,进而实现芯片倒装贴片。本发明优点在于,两个转盘交替吸附芯片,使得芯片在芯片贴片区进行贴片时,恰好可以倒装贴片,简化了倒装贴片的前序工艺,提高贴片效率。 | ||
搜索关键词: | 芯片 倒装 设备 方法 | ||
【主权项】:
一种芯片倒装贴片设备,包括芯片存储区及芯片贴片区,其特征在于,所述芯片存储区与所述芯片贴片区相对设置,在所述芯片存储区与所述芯片贴片区之间,沿芯片存储区至芯片贴片区的方向设置有第一转盘和第二转盘,所述第一转盘及第二转盘均包括转轴及围绕所述转轴圆周设置的多个芯片吸取装置,所述第一转盘吸取芯片储存区的芯片,第一转盘的芯片吸取装置与芯片的接触面为芯片具有焊盘的表面,所述第二转盘吸取被所述第一转盘吸附的芯片并将所述芯片放置在芯片贴片区,所述芯片具有焊盘的表面朝向所述芯片贴片区,进而实现芯片倒装贴片。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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