[发明专利]一种基板输送装置及其控制方法在审
| 申请号： | 201611213426.0 | 申请日： | 2016-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN106494889A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 沈洪星;刘正勇;盛俭;刘晏;李英旭;杨凤媛 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基板输送装置及其控制方法，涉及基板运输设备技术领域。为解决现有技术采用滚筒式输送机输送基板时容易造成基板磨损、划伤或变形的问题而发明。本发明的基板输送装置包括输送平台；悬浮组件，所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于所述输送平台的上方；牵引装置，所述牵引装置用于牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。本发明基板输送装置用于降低基板在输送过程中产生磨损、划伤或变形的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输送 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种基板输送装置，其特征在于，包括：输送平台；悬浮组件，所述悬浮组件用于向承载于所述输送平台上的基板作用一个向上的浮力，以使所述基板悬浮于所述输送平台的上方；牵引装置，所述牵引装置用于牵引所述基板在所述输送平台上沿预设路径悬浮移动。
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