[发明专利]基于射频微机电开关的螺旋五位分布式微机电移相器

摘要

本发明公开了一种基于射频微机电开关的螺旋五位分布式微机电移相器，主要解决工作频率低、面积大、可靠性低和信号易失真的现有问题。其包括：基板(45)、基板绝缘层(47)、共面波导左右地线(41，44)、共面波导信号线(42)、射频微机电开关组(43)和直流偏置点列(46)。共面波导左地线、共面波导信号线和共面波导右地线，按照圆形螺旋状布线方式分布在基板上；射频微机电开关组由5个单元共31个电容式射频微机电开关组成，每单元中开关并联连接，且同时加载偏置电压，以实现五位不同的相位变化。本发明工作频率可达40GHz以上，具有面积小、可靠性高、高频信号不易失真的优点，可用于雷达天线的接收/发射组件中。

主权项

1.一种基于射频微机电开关的螺旋五位分布式微机电移相器，包括：基板(45)、基板绝缘层(47)、共面波导左地线(41)、共面波导信号线(42)、共面波导右地线(44)、射频微机电开关组(43)和直流偏置点列(46)；基板(45)上沉积一层基板绝缘层(47)，共面波导左地线(41)、共面波导信号线(42)和共面波导右地线(44)分布于基板绝缘层(47)上方，射频微机电开关组(43)中每一个开关两端跨接于共面波导左地线(41)与共面波导右地线(44)上，且开关膜桥位于共面波导信号线(42)上方，其特征在于：所述的共面波导左地线(41)、共面波导信号线(42)和共面波导右地线(44)，按照圆形螺旋状布线方式分布在基板(45)上；所述的射频微机电开关组(43)由31个电容式射频微机电开关组成，且分别按照1个、2个、4个、8个、16个射频微机电开关分为5个单元；每个单元中的射频微机电开关并联连接，同时加载偏置电压，实现五位31种不同的相位变化。