[发明专利]基于Al2O3纳米颗粒的薄膜封装方法及其应用在审
申请号: | 201611216066.X | 申请日: | 2016-12-26 |
公开(公告)号: | CN106783640A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 张滔;向超宇;李乐;辛征航;张东华 | 申请(专利权)人: | TCL集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L33/00;H01L33/06;H01L33/56 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人: | 黄志云 |
地址: | 516006 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种基于Al2O3纳米颗粒的薄膜封装方法,包括以下步骤提供全氟癸基膦酸和/或全氟癸基羧酸,将其溶解后形成有机修饰分子溶液;在所述有机修饰分子溶液中加入Al2O3纳米颗粒,超声混匀后得到Al2O3纳米颗粒自组装混合液;提供待封装的金属层,在所述金属层表面沉积Al2O3纳米颗粒自组装混合液,干燥得到封装层。 | ||
搜索关键词: | 基于 al2o3 纳米 颗粒 薄膜 封装 方法 及其 应用 | ||
【主权项】:
一种基于Al2O3纳米颗粒的薄膜封装方法,包括以下步骤:提供全氟癸基膦酸和/或全氟癸基羧酸,将其溶解后形成有机修饰分子溶液;在所述有机修饰分子溶液中加入Al2O3纳米颗粒,超声混匀后得到Al2O3纳米颗粒自组装混合液;提供待封装的金属层,在所述金属层表面沉积Al2O3纳米颗粒自组装混合液,干燥得到封装层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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