[发明专利]一种具有晶圆侦测功能的炉管设备有效
申请号: | 201611218685.2 | 申请日: | 2016-12-26 |
公开(公告)号: | CN106783686B | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 赵庆;辛科;周诗铎 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种具有晶圆侦测功能的炉管设备,通过设置炉管设备包括机械手臂、支架和光纤传感器,且该支架可滑动地安装在机械手臂未设置抓手的一端上,该光纤传感器设置于支架的端部,以在机械手臂空闲时利用该光纤传感器对晶舟内的晶圆进行扫描,从而可以提前侦测晶圆的异常和脱片状态,进而避免因为晶圆的异常和脱片造成与抓手的撞击所导致的经济损失。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 侦测 功能 炉管 设备 | ||
【主权项】:
1.一种具有晶圆侦测功能的炉管设备,其特征在于,包括晶舟、机械手臂、支架和侦测传感器;所述晶舟内设置有若干晶圆;所述支架包括两个支架臂和连接所述两个支架臂的固定结构;所述机械手臂包括设置有抓手的第一端和相对于所述第一端的第二端,所述固定结构可滑动地安装于所述机械手臂临近所述第二端的底部,所述两个支架臂分别设置于所述机械手臂的两侧,且所述两个支架臂伸展的方向与所述第二端的朝向相同;所述侦测传感器设置于所述两个支架臂的端部,且当所述机械手臂空闲时,设置所述机械手臂的第二端朝向所述晶舟,以利用所述侦测传感器对所述晶舟内的晶圆进行侦测。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司,未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201611218685.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种用于晶圆的打点装置及其控制方法
- 下一篇:一种改善离子注入监控的方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造