[发明专利]一种变电场原子层沉积系统的控制方法

摘要

本发明属于原子层沉积技术领域，公开了一种变电场原子层沉积系统的控制方法，包括：上电极板和下电极板、直流电源、控制箱；通过调节直流电源，实现电场大小的切换；控制箱包含继电器、电容、电感、电阻，通过控制继电器端口的断开与相连，实现电场极性的切换；直流电源与控制箱连接，控制箱与上电极板、下电极板连接。解决了现有技术中对原子层沉积进行电场的快速自动化调节研究匮乏的问题。达到了在原子层沉积设备中实现电场极性和大小的快速任意切换，从而提高原子层沉积吸附反应的饱和度、优化薄膜的结晶和掺杂特性的技术效果。

主权项

1.一种变电场原子层沉积系统的控制方法，其特征在于，包括：上电极板和下电极板，所述上电极板和所述下电极板之间产生电场；直流电源，所述直流电源在所述上电极板和所述下电极板之间施加电场；通过调节所述直流电源，实现所述上电极板和所述下电极板之间电场大小的切换；控制箱，所述控制箱包括第一继电器、第二继电器、第三继电器、第四继电器、第一电容、第二电容、第一电感、第二电感、第一电阻；所述继电器有三个端口，其中第一端口和第二端口为常闭端口；通过软件控制，可以使所述第一端口和所述第二端口断开，并使所述第一端口和第三端口相连；所述直流电源的正极连接所述第一继电器的所述第三端口，所述直流电源的负极连接所述第二继电器的所述第三端口；所述第一继电器的所述第二端口和所述第二继电器的所述第二端口之间串联所述第一电阻；所述第一继电器的所述第一端口和所述第三继电器的所述第一端口连接，所述第二继电器的所述第一端口和所述第四继电器的所述第一端口连接；所述第三继电器的所述第二端口串联所述第一电感，所述第一电感与所述上电极板连接；所述第四继电器的所述第二端口串联所述第二电感，所述第二电感与所述下电极板连接；所述第三继电器的所述第二端口和所述第四继电器的所述第二端口并联所述第一电容和所述第二电容；所述第三继电器的所述第二端口与所述第四继电器的所述第三端口连接，所述第三继电器的所述第三端口与所述第四继电器的所述第二端口连接；所述第一电容、第二电容与所述第一电感、第二电感用于滤波，所述第一电阻用于释放所述上电极板和所述下电极板之间的静电；所述直流电源与所述控制箱连接，所述控制箱与所述上电极板、所述下电极板连接。