[发明专利]一种磷酸酯表面活性剂的合成工艺及其应用在审
| 申请号： | 201611231281.7 | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN108250234A | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 潘依君;荆建芬;张建;杨俊雅;王春梅;宋凯;蔡鑫元;姚颖;杜玲曦 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C07F9/09 | 分类号： | C07F9/09;C07F9/11;C08G65/327;B01F17/20;C09G1/02;C23F3/04 |
| 代理公司： | 北京大成律师事务所 11352 | 代理人： | 李佳铭;沈汶波 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种磷酸酯表面活性剂的合成工艺及其在化学机械抛光浆料中的应用，其特征在于，包括：首先，将醇类预热；然后，加入五氧化二磷，进行酯化反应；然后，加入去离子水进行水解，制得含单双酯的磷酸酯。本发明通过升高加料温度降低醇类的粘度，有利于提高反应物混合的均匀性避免局部剧烈反应，另外，通过提高酯化后的水解温度和时间，改善了产品的储存稳定性，具有优异的市场应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 磷酸酯表面活性剂 合成工艺 水解 醇类 化学机械抛光浆料 储存稳定性 反应物混合 五氧化二磷 去离子水 市场应用 温度降低 酯化反应 加料 单双酯 均匀性 磷酸酯 预热 酯化 应用 升高 | ||
【主权项】：
1.一种磷酸酯表面活性剂的合成工艺，其特征在于，包括：步骤一：将醇类预热；步骤二：加入五氧化二磷，进行酯化反应；步骤三：加入去离子水进行水解。制得含单双酯的磷酸酯。
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