[发明专利]一种低压状态下炉管检测装置和检测方法在审
| 申请号： | 201611235604.X | 申请日： | 2016-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106814762A | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 邱展翔 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人： | 陈薇 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种低压状态下炉管检测装置及检测方法，所述的检测装置包括炉管Tube、气体控制机、多个流量控制器MFC、抽气泵Pump、主阀MV以及压力检测装置，所述气体控制机通过多个管路与炉管Tube连接，每一个管路上设置一个流量控制器MFC，抽气泵Pump通过主管路与炉管Tube连接，主管路上设置有控制抽气泵Pump抽气速率的主阀MV，所述压力检测装置通过管路与炉管Tube连接。本发明在低压炉管的各个管路上分别设置流量控制器MFC、压力检测装置和主阀MV，分别通过检测各管路的气体流量、炉管Tube的压力以及主阀MV的开度，对整个炉管装置中的各种部件的异常状态进行实时检测，由此能够及时判断整个装置是否有无异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低压 状态 炉管 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种低压状态下炉管检测装置，其特征在于，包括炉管Tube、气体控制机、多个流量控制器MFC、抽气泵Pump、主阀MV以及压力检测装置，所述气体控制机通过多个管路与炉管Tube连接，每一个管路上设置一个流量控制器MFC，抽气泵Pump通过主管路与炉管Tube连接，主管路上设置有控制抽气泵Pump抽气速率的主阀MV，所述压力检测装置通过管路与Tube连接；每一个所述流量控制器MFC，用于当气体控制机通过各管路向炉管Tube进气时，实时检测和控制各路管路的气体流量，通过与标准气体流量进行比较来判断流量控制器MFC是否处于正常状态；所述压力检测装置，用于实时检测炉管Tube内的气体压力值，并通过与标准压力值进行比较判断该压力检测装置是否处于正常状态；所述抽气泵Pump，用于向炉管Tube中抽入大气，通过比较抽气时主阀MV的开度与标准开度判断该抽气泵Pump是否处于正常状态。
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