[发明专利]一种利用激光液相烧蚀系统进行激光液相烧蚀试验的方法

摘要

本发明公开一种利用激光液相烧蚀系统进行激光液相烧蚀试验的方法，可以通过电脑控制一次性进行整个试验过程。装置由激光器、烧蚀光路、烧蚀腔、真空干燥腔、TEM观察腔、靶材控制系统、TEM样品运输系统构成；包括制备烧蚀液、制备烧蚀靶材、在控制计算机内设置好靶材的移动路径，翻转顺序，翻转时间参数，设置好激光器的工作参数，选择好烧蚀模式、启动激光器进行烧蚀实验、干燥后运输至TEM观察腔进行TEM观察，同时记录TEM观察的感兴趣位置、控制TEM样品运输系统运输TEM铜网回烧蚀腔，重复观察。可以自动控制实验进行，效率高，控制精准，免于样品被污染和氧化，且可以原位进行试验。

主权项

1.一种利用激光液相烧蚀系统进行激光液相烧蚀试验的方法，其特征在于包括以下步骤：/n步骤1：制备烧蚀液，烧蚀液为去离子水、含有表面活性剂的溶液或待烧蚀的胶体，将烧蚀液加入烧蚀池；/n步骤2：制备烧蚀靶材，将需要烧蚀的靶材进行表面抛光后，先后在丙酮、乙醇、去离子水中超声清洗，将靶材安装在靶材翻转装置的多棱柱面上，打开烧蚀腔，将烧蚀池安装在烧蚀腔的底面上，并固定好；/n步骤3：在控制计算机内设置好靶材的移动路径，翻转顺序，翻转时间参数，设置好激光器的工作参数，选择好烧蚀模式，烧蚀模式为连续烧蚀，单脉冲烧蚀，多脉冲烧蚀中的一种；/n步骤4：启动激光器进行烧蚀实验，烧蚀结束后使用计算机控制TEM样品运输系统夹持TEM铜网浸入烧蚀液后取出，运输至真空干燥腔干燥，干燥后运输至TEM观察腔进行TEM观察，同时记录TEM观察的感兴趣位置；/n步骤5：控制TEM样品运输系统运输TEM铜网回烧蚀腔，重复步骤1-4观察；/n还包括组装实验装置步骤：所述装置由激光器(1)、烧蚀光路(2)、烧蚀腔(3)、真空干燥腔(4)、TEM观察腔(5)、样品生成装置(6)、TEM样品运输系统(7)构成，烧蚀腔(3)、真空干燥腔(4)、TEM观察腔(5)之间采用真空阀连接，激光器为三倍频固体激光器，可以发射1064nm、532nm、355nm的连续激光；烧蚀光路(2)具有分光镜(201)、振镜(202)、掩模(203)、可调透镜(204)；烧蚀腔具备第一进气管路(301)、第一出气管路(302)、第一真空泵(303)；真空干燥腔具备第二出气管路(401)、第二真空泵(402)、分子泵(403)、干燥装置(404)；TEM观察腔具有透射电子显微镜(501)可以对烧蚀样品进行观察；样品生成装置具有烧蚀池(601)和靶材控制系统(602)，烧蚀池内装烧蚀液，靶材控制系统具有靶材升降机构，靶材旋转平移机构和靶材翻转机构；TEM样品运输系统具有样品传送杆(701)、样品升降杆(702)、样品夹持器(703)；所述靶材控制系统(602)与控制计算机连接；/n烧蚀光路具有光路选择功能，可以选择第一光路、第二光路和第三光路，所述第一光路为连续激光烧蚀光路，第二光路为单脉冲激光烧蚀光路，第三光路为多脉冲激光烧蚀光路；由激光器出射的激光经过第一分束镜后反射部分构成第一光路，透射部分经第二分束镜后反射部分构成第二光路，透射部分成第三光路；第一光路、第二光路、第三光路分别具有电磁控光开关，可以控制光路的通断；第二光路和第三光路均具有振镜，振镜下方具有掩模，通过振镜与掩模装置使第二光路和第三光路可以输出单脉冲激光和多脉冲激光。/n